セミナー開催のご案内

レーザー直接描画によるグレースケール露光
～その実際と応用～

日時：2021年7月28日水曜日　9:30-12:00頃
場所：Teams
主催：東京大学超微細リソグラフィ・ナノ計測拠点
対象者：グレースケール露光に関心のある方
費用：無料
言語：日本語
資料：ダウンロード配付
申込先URL: https://forms.gle/UCVUQGDG2WEJEfMc7
※申し込み受付後、メールで接続先のURLをご連絡いたします。7月26日(月)までに接続先の連絡がない場合は、下記のメールアドレスまでご連絡ください。

プログラム：
9:30  挨拶：
東京大学超微細リソグラフィ・ナノ計測拠点　拠点長　准教授　三田吉郎　
9:35  基調講演：「グレースケール露光の概要と応用例」
東北大学教授・マイクロシステム融合研究開発センターセンター長　戸津健太郎　
10:20「HIMT製DWLシリーズによるグレースケール露光」
ハイデルベルク・インストルメンツ（株）上瀧英郎
11:05  休憩
11:10「グレースケール露光のためのデータ補正とシミュレーション」
GenISys(株)　清水諭
11:55  フリートーク


お問い合わせメールアドレス：seminar-grayscale@if.t.u-tokyo.ac.jp

以上