日時: 2021 年 8月2日（月）～ 8月4日（水）
開催方法: オンライン(YouTubeライブ配信、アーカイブ配信)
主催: 東北大学マイクロシステム融合研究開発センター、MEMSパークコンソーシアム
共催: 東北大学マイクロ・ナノマシニング研究教育センター、東北大学ナノテク融合技術支援センター
参加費: 無料
お問い合わせ: 東北大学マイクロシステム融合研究開発センター　庄子留美子
E-mail: rumiko.shoji.a8@tohoku.ac.jp 　Tel. 022-305-2351

プログラム 
8月2日（月）
　  9:00-12:00　マイクロマシニング1(概論、フォトリソグラフィ、エッチング)　[戸津健太郎]
　13:00-15:50　マイクロマシニング2(成膜、複合プロセス、接合・パッケージング、評価)　[戸津健太郎]
　16:00-17:30　MEMS慣性センサ(加速度センサ、ジャイロスコープ、磁気センサ)　[塚本貴城]
 
8月3日（火）
　  9:00-10:30　触覚センサ等ロボット応用とLSI　[室山真徳]
　10:40-12:10　マイクロアクチュエータ、圧電薄膜プロセスと応用、COIプロジェクト成果紹介　[吉田慎哉]
　13:00-14:30　IT・通信・自動車応用(圧力センサ、マイクロフォン、BAWフィルタ、MEMSクロック発振器、マイクロミラーデバイス) [田中秀治]
　14:40-15:50　MEMSの新しい話題　[田中秀治]　 
　16:00-17:00　Microsensors based on the stress impedance effect　[Joerg Froemel]

8月4日（水）
　  9:00-10:20　製造検査、環境センサ　[小野崇人]
　10:30-11:00　Thermoelectric power generator for self-powered systems　[Nguyen Van Toan]
　11:00-12:00　アンサンブルMEMS　磁気共鳴力顕微鏡（MRFM）　[戸田雅也]
　13:00-14:00　マイクロ温度センサとその応用～細胞の温度計測～ 　[猪股直生]
　14:00-15:30　医療・ヘルスケア(健康管理)応用　[芳賀洋一]
　15:40-16:20　Beyond 5G/6Gに向けたMEMS駆動メタマテリアルによるTHz波制御　[金森義明]
　16:20-17:00　試作コインランドリ紹介　[森山雅昭]