ARIM マスクレスリソグラフィーWorkshop　

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ARIM マスクレスリソグラフィーWorkshop　

日時：2024年6月11日(火) 　9:30-17:00

場所：京都大学吉田キャンパス　京都大学百周年時計台記念国際交流ホールⅠ

　　　https://www.kyoto-u.ac.jp/ja/access/campus/yoshida/map6r-y

＊参加申込リストは京大ナノハブ拠点とハイデルベルグ・インストルメンツ株式会社から、ご案内に利用させていただく場合がありますので予めご了解下さい。

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お名前 *

ご所属 *

参加形式 *

現地参加

ウェブ（ZOOM）参加

ランチミーティング（無料/現地参加の方のみ）

参加します

参加しません

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Hands-on参加希望装置（各コース定員３名：先着順）

備考：MLA 150[1又は2] とMPO100[2又は1] の連続受講可能

　　　（1: 14:00～ 2: 15:00～）

　　　[1]または[2]の割り当ては、ナノハブ拠点で決まり次第ご連絡致します

(1)マスクレス露光装置 MLA150 [1又は2]：（内容: ６インチ高速全画面描画，講師:京大ナノハブ）

(2)申込〆切－定員に達しました → ＜＜2光子重合式3Dプリンター MPO100 [1又は2]：（内容:２光子重合3D描画，講師：Heidelberg Instruments）＞＞

(3)申込〆切－定員に達しました → ＜＜MLA 150[1又は2] とMPO100 [2又は1] の連続受講＞＞

(4)申込〆切－定員に達しました→＜＜レーザー直描装置 DWL 2000：（内容:グレイスケール描画，講師:GenlSys K.K./京大ナノハブ）＞＞

(5)参加しません

◆簡単なアンケートにご協力ください。

0.　興味がある設備はどれですか？（複数回答可）

（1）マスクレス露光装置：MLA150

（2）レーザー直描装置：DWL2000

（3）近接効果補正システム：BEAMER

（4）２光子重合式3Dプリンター：MPO100

（5）Nano Frazer system and thermal-probe technology

（6）その他

1. マテリアル先端リサーチインフラ（ARIM）をご存知でしたか。

(1) 既にユーザーである。

(2) 知ってはいるがユーザではない。

(3) 知らなかった。

(4) 関係者である。（関係者の方はこちらをチェック）

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2. 前問１．にて(2)または(3)を選択した方にお尋ねします。

マテリアル先端リサーチインフラ（ARIM）のご利用を考えていますか？

(1) 現在、利用相談を行っている。

(2) 利用を検討している。

(3) 利用する予定はない。

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3. このセミナーを知ったきっかけについて、最もあてはまるものを１つ選んでください。

（関係者の方は回答不要です）

(1) チラシ

(2) ホームページのイベント案内

(3) 身近な人から聞いた。

(4) メールマガジン等の配信

(5) その他

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前問3.にて(5)その他を選んだ方は具体的な内容をご記入ください。

A copy of your responses will be emailed to the address you provided.

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